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実験装置・設備
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電子ビーム描画装置
(高分解能描画用) |
電子ビーム描画装置
(広面積描画用) |
フォトリソグラフィ装置 |
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| プラズマCVD装置 |
熱蒸着装置 |
電子ビーム蒸着装置 |
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| RFスパッタ装置 |
RF/DCスパッタ装置 |
結晶切断装置 |
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| 結晶研磨装置 |
石英管式電気炉 |
マッフル炉 |
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| 反応性イオンエッチング装置 |
オーミック電極作製装置 |
強誘電体分極反転
特性測定装置 |
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分極反転構造作製用
電圧パルス印加装置 |
超音波ワイヤーボンダー |
走査型電子顕微鏡 |
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フォトルミネッセンス
測定装置 |
フーリエ変換赤外線
分光光度計 |
偏光解析装置 |
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| 光学顕微鏡 |
膜厚測定装置 |
量子雑音測定用
平衡検出装置 |
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| 高周波スペクトルアナライザ |
単一周波数YAGレーザ |
連続Ti:Al2O3レーザ |
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| エルビウムファイバーレーザ |
MOPAレーザ |
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| 各種半導体レーザ装置 |
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| ファイバーレーザ |
光スペクトルアナライザ |
スイープジェネレータ |
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| シグナルジェネレータ |
赤外テレビカメラ |
光パワーメータ |
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| ファンクションジェネレータ |
デジタルロックインアンプ |
モノクロメータ |
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| サンプリングオシロスコープ |
オートコリレータ |
光学ベンチ |
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| 共焦点顕微鏡 |
イオンシャワー装置 |
高速熱処理装置 |
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| UVオゾンクリーナー |
精密研磨装置 |
局所排気装置および
スクラバー |
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| 接合装置 |
ガス漏洩検知・廃棄設備 |
小型熱蒸着装置 |
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| スクライバー |
超純水作製装置 |
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